產(chǎn)品目錄 / Product catalog
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LCD系列表面清潔分析儀為美國科諾研制的行業(yè)性分析儀器,可在分析測試水滴在液晶屏、晶圓(Wafer)、芯片或PCB板表面的形成的角度值的基礎(chǔ)上,進而分析Plasma效果,是一種基于界面化學(xué)分析系統(tǒng)的表面清潔度測試系統(tǒng)。
本系列表面清潔度分析儀由儀器主機和CAST™2.0水滴角分析軟件兩個部分組成。根據(jù)樣品臺移動方式不同,我們將儀器主機分為自動(LCD1000A)、手動(LCD1000M)兩種。樣品臺尺寸及其控制行程可根據(jù)客戶要求定制。我們?yōu)閺V大客戶提供性能,價格合理的儀器以及化的表面清潔度分析儀產(chǎn)品,期盼為客戶的研發(fā)與品質(zhì)控制提供的服務(wù)。
功能實現(xiàn):
1、測試前:
(1)通過調(diào)整進樣器前后、左右、上下移動(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),實現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
(2)通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動(XY),將注射泵移動至角落后,以方便裝樣。
2、測試過程中:
(1)通過導(dǎo)軌前后、左右方向(XY)的移動控制,實現(xiàn)樣品上不同點的水滴角度值的測試;
(2)通過移動進樣器升降移動(Z向),完成液滴移液過程(將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上);
(3)通過進樣器注出液滴,進行角度分析,精度可達0.02uL。
3、測試實現(xiàn)方法:
(1)通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,分析敏感點,計算得出角度值;
(2)計算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法;
(3)軟件對鏡頭的俯視角度進行適當?shù)男拚云趯崿F(xiàn)更的測量。
功能實現(xiàn):
1、測試前:
(1)通過調(diào)整進樣器前后、左右、上下移動(XYZ)及鏡頭俯仰角度和升降(Z向),實現(xiàn)調(diào)整焦距的目的。
(2)通過控制導(dǎo)軌前后、左右移動(XY),將注射泵移動至角落后,以方便裝樣。
2、測試過程中:
(1)通過導(dǎo)軌前后、左右方向(XY)的移動控制,實現(xiàn)樣品上不同點的水滴角度值的測試;
(2)通過移動進樣器升降移動(Z向),完成液滴移液過程(將水液滴轉(zhuǎn)移到液晶屏上);
(3)通過進樣器注出液滴,進行角度分析,精度可達0.02uL。
3、測試實現(xiàn)方法:
(1)通過相機捕捉液滴在液晶屏上的圖片后,分析敏感點,計算得出角度值;
(2)計算辦法:θ/2法(WH法)或圓擬合法;
(3)軟件對鏡頭的俯視角度進行適當?shù)男拚云趯崿F(xiàn)更的測量。
技術(shù)參數(shù):軟件分析基于CAST2.0分析系統(tǒng)
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LCD1000A |
LCD1000M
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相關(guān)型號主題詞 |
全自動型 |
手動型 |
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主機 |
主機 |
概述 |
自動控制樣品臺 |
手動控制樣品臺 |
鏡頭水平X移動 |
自動:600mm 或更大行程 精度:0.01mm
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手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm 帶手柄 |
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鏡頭水平Y(jié)移動 |
自動:600mm或更大行程 精度:0.01mm
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手動:600mm或更大行程 精度:0.1mm帶手柄 |
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鏡頭上下Z1移動 |
自動:25mm 精度:0.01mm
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手動:25mm 精度:0.01mm
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鏡頭傾斜調(diào)整 |
手動 |
手動 |
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樣品臺水平 |
手動 微調(diào) |
手動 微調(diào) |
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進樣器控制XY |
手動 12.5mm 0.01mm 精度 |
手動 12.5mm0.01mm 精度 |
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進樣器控制Z |
自動 25mm 0.01mm精度 |
手動 25mm 0.01mm精度 |
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整機升降控制Z2 |
自動 25mm 0.01mm精度 |
手動 25mm 0.01mm精度 |
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水平調(diào)整 |
手動微調(diào)控制樣品臺水平 |
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樣品臺 |
600*600mm 或更大 |
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進樣器 |
自動進樣注射泵 |
手動進樣注射泵 |
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進樣器焦距調(diào)整:手動 |
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光學(xué)CCD成像系統(tǒng) |
USB口視頻捕捉設(shè)備+25幀/秒工業(yè)黑白CCD相機+ 10-50倍連續(xù)放大工業(yè)鏡頭 |
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光學(xué)系統(tǒng)調(diào)整 |
一維水平角度調(diào)整機構(gòu) |
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光源系統(tǒng) |
可調(diào)亮度單色冷光LED光源,水滴角圖像邊緣更清晰 |
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通訊接口 |
主機控制及視頻系統(tǒng)控制均采用USB2.0通訊接口,兼容性更好、速度更快 |
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軟件 |
水滴角計算方式 |
全自動計算 按“測試”,軟件自動完成拍照、分析敏感點、計算水滴角值三個動作 |
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水滴角計算辦法 |
共6種:提供θ/2法、真實液滴法、圓擬合法、橢圓擬合法、曲線尺法,適用于分析動/靜態(tài)水滴角值 |
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液滴形態(tài) |
5種分析液滴形態(tài):停滴(2、3態(tài))、懸滴、氣泡虜獲法以及插板法,多種液滴形態(tài)均可適用 |
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隨時間變化水滴角測試 |
25幀/秒隨時間變化水滴角測試,提供軟件觸發(fā)技術(shù) |
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動態(tài)水滴角分析 |
前進角/后退角分析 |
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表面自由能估算 |
提供如Equation of State ( Neumann et al. )、Good-Girifalco、Owen-Wendt-Rabel、Simple Fowkes、Extended Fowkes、WU法1-2、Schultz法1-2、Acid-base(Van OSS & Good)、Jhu、Zizman臨界表面張力法等共12種表面自由能估算方法,不但能分析低能固體表面,也能分析高能固體表面,以及他們的分布(色散力、極性力、氫鍵值、路易斯酸堿等)。 |
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粘附功計算 |
軟件自動分析 |
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→ 自動曲面修正:上凸曲面、下凹曲面、表面粗糙度修正; |
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→ 自動水滴角值計算(θ/2 法)和人工計算水滴角值法切換 |
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→ 左右水滴角值計算與比較,平均水滴角計算 |
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→ 水平及俯仰角度,任意角度值修正功能 |
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→ 自動生成曲線圖 |
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→ 強大的數(shù)據(jù)庫管理功能:備份、壓縮、導(dǎo)出EXCEL表格 |
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→ 自動液滴量估算 |
美國科諾工業(yè)有限公司特別聲明:
1、以上圖片資料以及技術(shù)參數(shù)因設(shè)計而進行的更改,不再另行通知,以確認的產(chǎn)品資料為準?! ?/span>
2、如需詳細水滴角分析技術(shù)的資料和水滴角測試標準,請聯(lián)系我們的技術(shù)工程師。
3、詳細報價根據(jù)采購方案另行報價。
4、如需要特殊尺寸樣品或特殊需求,我們可定制產(chǎn)品,但需要你支付定金。
5、如上樣本冊文本資料、技術(shù)設(shè)計方案以及技術(shù)指標描述等版權(quán)歸本公司所有。任何單位未經(jīng)本公司許可,不得自行傳播或復(fù)制。本公司保留一切權(quán)利。